•祭城隍之始

　　最早祭祀城隍是起於何時，學界有許多不同的說法，目前較廣為人們所接受的為「蜡祭」說。《禮記•郊特牲》言：「天子大蜡八，伊耆氏始為蜡」。周朝「蜡」為一種祭體，指天子於歲末大祭萬物。而所謂八蜡是指先嗇、司嗇、農、郵表畷、貓虎、坊、水庸、崇等八種與農業生產有關的祭祀，這裡的「水庸」解釋為：「水者隍也，庸者城也」，因此認為祭水庸就是祭城隍之始。
　　姑且不論上述說法是否正確，古代社會民智未開，人們在面對周遭的自然現象時，往往無法解釋而心存害怕與敬畏，於是產生了萬物有靈的觀念，進而演變成自然崇拜。因此當人們認為城持有保護人民身家財產之功時，自然對其產生尊崇，進雸演變成祭祀行為，或許城隍信仰就是這種思維下的產物。

•東漢末年已出現百姓祭祀城隍

　　城隍廟祭祀原自何時呢？依據中國民俗學者鄭土有、王賢淼於《中國城隍信仰》一書記載，東漢以後，因道教建立及佛教傳入，萬物有靈的觀念也隨之受到影響，並與之融合。

•唐代繼四成黃成為普遍信仰

　　城隍信仰到了唐代出現重要的轉折，不僅城隍的事蹟被大量紀錄，各地也陸續建有城隍廟宇。唐代元五年張說的＜祭城隍文＞是現今所看到的城隍祭文。

•宋代城隍崇拜列入國家祭典

　　到了宋代，官方對城隍信仰的態度開始出現相當大的轉變，不僅朝廷封賜城隍神，也將城隍崇拜列入國家祭典。此外城隍神也開始世俗化、人格化，如不少著名歷史人物死後被尊祀為城隍，如漢代名將紀信、灌嬰等被尊封為城隍。這或許是出自老百姓對於歷史人物與清官的懷念與愛戴，因此將他們當城隍供奉。另外城隍夫人也在這個時期出現，《睽車志•卷二》就記載城隍夫人報訊事、城隍娶妻的神話故事。到了元代不僅出現皇帝為城隍夫人冊封，隨著城隍信仰的人性化和世俗化，推測城隍家族也在這個時候出現。

•明代城隍信仰制度化

　　明代是城隍信仰發展的極致，城隍祭祀列入國家祭典，並且加以制度化，其中明太祖朱元璋尊崇城隍的態度是一個重要關鍵。入清後承襲明朝制度，更通令各省、府、廳、縣建造城隍廟，並列入官祀項目之ㄧ，而且地方官新上任，須先卜選吉日，親到城隍廟舉行奉告典禮才能赴任。